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深圳必赢平台之金属有机化学必赢平台

文章出处:必赢平台官方网站 人气:-发表时间:2015-12-31 00:00:00

 随着高新技术的发展,给环境造成新的污染,例如金属有机化学气相淀积(MOCVD)是一类非常重要的外延生长方法,是近几年来发展起来的生长电子科技的新工艺,对于有机必赢平台有很大的作用。

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 金属有机化学汽相淀积(MOCVD)是在汽相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型汽相外延生长技术。它采用Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和Ⅴ族元素的氢化物等作为晶体生长原料,以热分解反应方式在衬底上进行汽相外延,生长各种Ⅲ-Ⅴ族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄膜层单晶材料。


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 与常规的氯化物输运外延(VPE)相比,MOCVD具有下列一系列优点:

 1.生长易于控制。

 2.可以进行大规模生产。

 3.可以生长纯度很高的材料。

 4.外延层大面积均匀性良好。

 5.非常适合生长各种异质结构材料。

 6.可以生长超薄外延层,并能获得很陡的界面过渡。

 7.使用范围广泛,几乎可以生长所有化合物及合金半导体。


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 MOCVD的发展趋势是通过改变源气体的供给方式或基片的悬浮与转动,来实现大面积、大批量、高均匀性和陡峭的过渡界面层的计算机控制生产,实现有机必赢平台

 MOCVD技术的主要缺点大部分均与其所采用的反应源有关。首先是所采用的金属有机化合物和氢化物源价格较为昂贵,其次是由于部分源易燃易爆或者有毒,因此有一定的危险性,并且,反应后产物需要进行无害化处理,以避免造成环境污染。另外,由于所采用的源中包含其他元素(如C,H等),需要对反应过程进行仔细控制以避免引入非故意掺杂的杂质。

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